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CBTZ自动对位探针台能对晶片实现自动对位测试,

操作简单,快捷,测试精度高,具有MAP显示功能。

与测试仪连接后,能自动完成对各种晶体管芯的电参数测试及功能测试

名称:CBTZ半自动探针台
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CBTZ半自动探针台

主要技术参数

可测片型:3 寸、 4寸、5寸,6寸、8寸

测试硅片单元尺寸:20—200 mil

定位精度:≤ ±0.01mm/110mm

自动对准精度:±0.01mm

误测率:≤ 1 ‰

全自动对位时间:≤ 15 s

测试速度 45 mil   5.0 pcs/s

50 mil   4.6 pcs/s

87 mil   4.2 pcs/s

步进分辨率:0.001

Z向行程:0~5mm 可调

承片台转角θ调节范围:±20o


CBTZ-3100Z型自动对位探针台能对晶片实现自动对位测试,操作简单,快捷,测试精度高,具有MAP显示功能。它与测试仪连接后,能自动完成对各种晶体管芯的电参数测试及功能测试 。

CBTZ半自动探针台.jpg


操作方式

CBTZ型自动对位探针台

提供了清晰直观的触屏操作页面,

手触点击即可完成对晶片的自动对位测试。

除此之外还提供了更加简洁 

便的小键盘操作方式,操作者可依据

个人偏好和习惯选择任意种操作 

CBTZ半自动探针台软件界面.jpg

机器软件的操作界面

CBTZ半自动探针台小功能键盘.jpg

功能小键盘

机器功能

具有自动扫描对位功能,对位精度
高、速速快,Windows7界面,动态map
图显示测试过程。

具有圆形测试,范围重测,探边

测试,范围打点,回收测试,矩形
测试和脱机打点多种测试功能。

CBTZ半自动探针台机器功能.jpgCBTZ半自动探针台测试方法.jpg

具有X、Y、Z三轴运动结构,操作软

件能对垂直度、平面度进行精度补偿,保
证机器的控制精度和工作的稳定性。
具有实时打点、脱机打点和滞
后打点功能。新型打点器,使用时
间长达3天,不滴墨,省去60%的操作时间。
CBTZ半自动探针台垂直度参数设置.jpgCBTZ半自动探针台打点设置.jpg

具有Z轴行程分段运动功能,其

分为基本高度、接触高度、接触缓冲、

过冲高度和折回高度,并且具有探边

功能,防止测试过程中探针对芯片的
划伤和探针与芯片的接触不良。







测试针痕比例图片(反光白点为针痕)

CBTZ半自动探针台高度参数设置.jpg

CBTZ半自动探针台芯粒数量设置.jpg

多芯粒                               单芯粒


应用案例:

珠海多创科技CBTZ半自动探针台.png西安鹏泰航空动力技术CBTZ半自动探针台.png